12寸晶圆吹淋机
2020-10-03 12:02:37 由 guohong1998上传 评论：0 点击：
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下载地址：
2.FFU过滤效率h14
3.12寸晶圆片通过传送到高效吹淋段前停止待进（传感器未画），吹淋区闸门气缸驱动打开，晶圆片进入到停止位停止，闸门关闭，时间到，出口闸门打开，晶圆片传送出吹淋区后，闸门关闭，重复上述节拍，吹淋区下面有被动排风装置（负压区），保持高低洁净区为低压状态，保证隔离不污染周围区域。
4.该装置用于低净化区到高净化区使用，如表面研磨好的产品到清洗区域等。
编辑点评：此12寸晶圆吹淋机为装配体3D模型设计，零件含特征设计树可直接编辑设计参数。
模型说明：
12寸晶圆吹淋机包括（SolidWorks 、）格式模型，模型版本为2016，文件大小为6.4M，于2020-10-05 07:49:23最后更新。30天内可重复免费下载。三维模型下载网，提供精品3D模型！
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