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12寸晶圆吹淋机模型下载
1 整机外观尺寸:1750x850x2325mm(长宽高)2 FFU过滤效率h143 12寸晶圆片通过传送到高效吹淋段前停止待进(传感器未画),吹淋区闸门气缸驱动打开,晶圆片进入到停止位停止,闸门关闭,时间到,出口闸门打开,晶圆
